Ultrapure Water Production

超純水生產

在微米或奈米級電子產品生產中,涉及晶片加工或光刻技術的複雜濕式化學工藝,超純水(UPW)在其中是不可或缺的。這些製程用於製造半導體組件,如:電腦處理器、記憶體晶片、發光二極體(LED)、液晶(LCD)和LED顯示器以及太陽能模組。

 

超純水也用於微系統技術中,例如:用於製造和加工微型幫浦、微型馬達和微型閥門的小型化機械零件。精細結構中奈米級的沉積物或雜質會導致生產故障和高廢品率,而超純水則是防止或去除這些沉積物或雜質的重要保障。隨著電子產品朝向越來越小的尺寸發展,對超純水的品質要求也越來越嚴格。

Lewatit®UltraPure(UP)系列的離子交換樹脂在可靠且有效率地生產超純水方面發揮著重要作用。其中包括單獨工作的樹脂、混床和終端拋光樹脂。它們的特徵都是有機物的釋放量特別低,因此對製程序列中TOC濃度的增加幾乎沒有貢獻(低ΔTOC,總有機碳)。

 

更重要的是,奈米級的金屬和顆粒的排放被降到最低。為了生產純水,首先需將補充水或循環製程水進行脫鹽。然後對其進行最終拋光以達到所需的極低電導率水平。經過特定離子交換樹脂的最終拋光,所獲得的水將具備最高純度。

 

如有需要,可進一步通過一系列的過濾步驟降低水中的顆粒含量。除了過濾步驟外,特定的離子交換樹脂還可以從一開始就防止在超純水生產過程中因樹脂腐蝕導致顆粒產生。因此,會從水中去除腐蝕性的過氧化氫。

 

我們的LewaPlus@設計軟體可以在量身定制的基礎上對離子交換樹脂和交換階段的各種組合進行建模分析。在確定進水和所需製程水質的情況下,借助LewaPlus@設計軟體使用者可獲得最優解決方案,這為使用者提供了極大的信心。

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Edition: October 2023
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