超純水生產
在微米或奈米級電子產品生產中,涉及晶片加工或光刻技術的複雜濕式化學工藝,超純水(UPW)在其中是不可或缺的。這些製程用於製造半導體組件,如:電腦處理器、記憶體晶片、發光二極體(LED)、液晶(LCD)和LED顯示器以及太陽能模組。
超純水也用於微系統技術中,例如:用於製造和加工微型幫浦、微型馬達和微型閥門的小型化機械零件。精細結構中奈米級的沉積物或雜質會導致生產故障和高廢品率,而超純水則是防止或去除這些沉積物或雜質的重要保障。隨著電子產品朝向越來越小的尺寸發展,對超純水的品質要求也越來越嚴格。
